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高頻光電導(dǎo)少子壽命測試儀
1、用途
用于硅、鍺單晶的少數(shù)載流子壽命測量，除需要有一個測量平面外，對樣塊體形*嚴(yán)格要求，可測塊狀和片狀單晶壽命。壽命測量可靈敏地反映單晶體內(nèi)重金屬雜質(zhì)污染及缺陷存在的情況，是單晶，的重要檢測項(xiàng)目。
2、 設(shè)備組成
2.1、光脈沖發(fā)生裝置
重復(fù)頻率＞25次/s 脈寬＞60μｓ 光脈沖關(guān)斷時間＜1μｓ
紅外光源波長：1.06～1.09μm（測量硅單晶） 脈沖電流：5A～20A
如測量鍺單晶壽命需配置適當(dāng)波長的光源
2.2、高頻源
頻率：30MHz 低輸出阻抗 輸出功率＞1W
2.3、放大器和檢波器
頻率響應(yīng)：2Hz～2MHz
2.4、配用示波器
配用示波器：頻帶寬度不低于10MHz，Y軸增益及掃描速度均應(yīng)連續(xù)可調(diào)。
3、測量范圍
可測硅單晶的電阻率范圍：ρ≥0.1Ω·㎝（歐姆·厘米）
壽命值的測量范圍：5～6000μｓ（微秒）